2022年是国产8吋SiC集体“爆发”的一年,3月份以来已有5家企业实现8吋突破,昨天,又有1家国内企业宣布成功研发了8吋SiC,整个研发仅仅用了一年左右,而且据说明年年底可实现量产。
截至目前,全球共有14家企业成功研发出了8英寸碳化硅衬底,其他国内企业还包括烁科晶体、天岳先进、南砂晶圆、中科院物理所和晶盛光电。
河北同光半导体
明年量产8吋SiC衬底
10月12日,河北广播电视台发布报道称,该台记者通过走访了解到,河北同光半导体已经攻克了高纯碳化硅原料合成、缺陷控制、杂质去除等关键核心技术,成功实现了6英寸碳化硅衬底的量产。
更为重要的是,同光从去年开始筹备8英寸碳化硅衬底的研发工作,今年就成功做出了样片,预计明年年底实现小规模量产。
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同光半导体技术总监路亚娟透露,同光8英寸碳化硅单晶生长关键技术研究及设备研制项目获得了河北省科技厅重点研发项目的支持。“突破技术壁垒,需要大量资金支持。”路亚娟说,在省科技厅帮助下,公司很快走完了材料准备、项目评审等流程,1个月内便拿到了专项资金200万元。 据陆亚娟介绍,8英寸碳化硅单晶生长炉控温难,轴向、径向梯度调节不灵活,单一晶型稳定性差一直是关键核心技术难题。 同光正筹备上市 在建10亿碳化硅项目 据同光半导体股份总经理助理李苏杰介绍,他们自主研发了一个有150台碳化硅单晶生长炉的车间,成为中国4家能量产碳化硅单晶衬底的企业之一。 此外,2021年3月,同光总投资10亿元的年产10万片4-6英寸碳化硅单晶衬底项目厂房建设完成封顶,将搭建碳化硅单晶生长炉600台,已于2021年9月在河北涞源经开区完成项目一期投产,二期项目于今年8月投产。 同光半导体董事长郑清超曾表示,他们还计划建设2000台碳化硅晶体生长炉生长基地,以及年产60万片碳化硅单晶衬底加工基地,拟总投资40亿元,预计2025年末实现满产运营。 今年3月,华泰联合证券发布关于河北同光半导体股份有限公司首次公开发行股票并上市辅导报告。据悉,双方已于3月18日签订了辅导上市协议,并于3月23日进行辅导备案。