芯源微：将发布最新的前道浸没式高产能涂胶显影机

芯源微(688037)12月15日晚间公告，公司定于12月17日上午10:30召开浸没式高产能涂胶显影机新品发布会，本次发布的产品为公司最新的前道浸没式高产能涂胶显影机。该机型采用公司独创的对称分布高产能架构，满配36 Spin处理单元，搭载公司自主研发的双向同步取放机械手，可大幅提升整机的机械传送产能和传送精度，能够匹配全球主流光刻机联机生产。