相对于高祖、太宗、高宗三朝，武则天时期的监察制度要来得更为的严格，且更注重于对地方州郡长官的监察。
唐初，唐廷建立起一套以“一台三院”为核心的监察制度，以“御史台”为全国最高监察机构，专司巡视监察之职，然后在“御史台”下设“台院”、“殿院”、“察院”三院。
其中“台院”掌纠弹中央百官，参与大理寺所审理的案件的审判，及皇帝所特意交代的案件的审判，并与门下省的给事中、中书省的中书舍人分别值守朝堂，受理冤讼；“殿院”掌殿廷仪卫、京城纠察等事，以仪法纠百官之失，监察朝会礼仪；“察院”掌巡按州县、纠视刑狱等事，监察地方官吏及尚书六部。
从唐初所设的监察机构来看，唐初，唐廷十分重视对于中央官员，也就是京官的监察（这点从唐廷所置的上至御史台，下至“台院”、“殿院”、“察院”都负有纠弹、监察京官的职责就可以看出），但是却似乎不太注重对于地方州郡长官的监察。
唐初，唐廷对于地方州郡长官的监察，主要就是依靠皇帝不定期派遣中央官员以黜陟使、采访使、巡按使、按察使等临时性的官职前往各地巡察，以此来达到监察地方官员的目的。如贞观八年（634年），太宗派遣李靖等13人为“黜陟大使”，前往各地巡察；贞观十八年（644年），李世民派遣谏议大夫褚遂良等23人为“黜陟使”出巡各地。
可以说，对于地方的监察，唐初的朝廷并未形成一套制度，要不要对地方进行监察，全凭皇帝的意思，皇帝若关心百姓，则一年两三次派遣中央官员前往巡视地方都是有可能出现的，但若是不太关心，则五六年都不会有一次。一旦皇帝不派遣京官前往巡察全国，那各地的地方州郡长官就会陷入无人可监督的状态，而一旦无人能监督他，自然就会加快腐败的滋生。
同时，因唐初对于地方监察官员的选择多以临时性的指派为主，而临时性的官职自然就不会有专门监督他们的律法的出台，因此在对这些外派的监察京官缺少有效的监督的情况下，这些被派出监察地方的中央官员很容易就会出现与地方官员官官相卫、狼狈为奸的情况。如此一旦他们与地方州郡长官官官相互的情况，那监察的意义就将荡然无存，反而会助长地方州郡长官腐败的问题。
由此，可以看出唐初对于地方的监察似乎并不重视，是既没有定期的地方巡察制度，也没有专门负责监察地方州郡长官的官员和机构。与京官被严密监察相比，地方州郡长官可谓是处于完全被放纵的情况，如此，这就造成地方州郡长官越来越腐败，对于民间的剥削也越来越严重，同时更为严重的是，因此中央对于地方州郡长官的监察不够严密，致使地方开始逐渐脱离中央朝廷的掌控。
如此，到了武则天主政时期，鉴于地方吏治越来越腐败，且隐约间已经有了威胁到中央统治的意思，且同时，因他们的腐败，致使民间怨声载道，开始出现反抗中央朝廷的起义，由此中央朝廷的统治也是出现了极大的裂痕。因此，为了遏制这些问题的持续恶化，武则天遂开始改革监察机构，加强对于地方的监察。
光宅元年（684年），武则天将御史台更名为“肃政台”，分设左右肃政台，其中左肃政台“知百司，监军旅”，掌纠察中央百官和军旅；右肃政台“察州县、省风俗”，掌纠察京畿地区和地方各州县官员。此后，为了继续加强对于地方州县的监察，武则天又赋予左肃政台“察州县”的权力。
与此同时，为了让中央朝廷能够持续的监察地方，武则天还下诏：“寻命左台兼察州县。两台岁再发使八人，春曰风俗，秋曰廉察，以四十八条察州县”，左右肃政台的监察御史、侍御史们需一年二次，即春夏季各一次，定期前往全国各地进行巡察，其中春季曰“风俗”，秋季曰“廉察”，在巡察的过程中御史们可根据武则天所定下的《风俗廉察四十八条》对地方官吏进行纠弹。
而后，御史们在完成对各地州县官员的巡察后，回京后，他们就需将在巡察过程中所纠察出的情况汇报给武则天，然后武则天就会根据他们汇报的情况进行“赏其当赏，罚所当罚”，若是廉洁奉公者，则加以重用，若是贪赃枉法者，则严惩不贷。
此外，为了预防前往各地巡察的御史们会与地方官吏相互勾结，从而狼狈为奸，让武则天不能真正的了解到各地吏治的真实情况，于是武则天还在“肃政台”这一最高监察机构之外，置“匦使院”这一专门负责掌武则天所置的用于接受各方意见文书的“铜匦”的全新机构。
所谓“铜匦”就是古代版的意见箱，为武则天所创。其拥有南北东西四个口，是各有用处，其中东面延恩匦，臣民献治国之策、求仕途，可投之；南方招谏匦，臣民对朝廷所施政策有意见要说的，或是想为朝廷提建议的，可投之；西方申冤匦，臣民若觉得有冤屈，想让朝廷替其申冤的，可投之；北方通玄匦，臣民想向朝廷汇报天下所发生的天象灾变，及有人意图造反之时的，可投之。
当时，武则天为了让自己能够“周知人间事”、“申天下之冤滞，达万人之情状”，遂就在朝堂之上放置了“铜匦”这一物件，以此来让天下臣民能直接将自己所知晓的事情告知武则天，让武则天可以直接跳过监察官员，就能知道天下所发生的所有事情。
而“匦使院”就是专门管理这个“铜匦”的机构。在武则天设置“铜匦”之时，为防止“铜匦”之中的文书被他人所知晓或偷换，她就专门在“铜匦”之上设置了一个机关，这个机关只有通过武则天所掌控的钥匙才能打开。但是，武则天作为皇帝，她总不能每天都去亲自打开“铜匦”，然后亲自去看那数量繁多的由臣民所上奏的文书，因此她是需要让人去代劳的，因此“匦使院”随之诞生。
“以谏议大夫、补阙、拾遗一人充使，知匦事；御史中丞、侍御史一人，为理匦使”，“匦使院”由知匦事、理匦使共掌院事。时全国各地臣民所投递到铜匦中的文书，在每日凌晨都会由“匦使院”官员将其取出交由知匦使负责处理，之后知匦使就会将所取出的文书分文别类，登记投递者的保人、姓名、住址，然后再派人前往询问投递者，若投递者保证此事千真万确，则会让其在十日内不得离开京师，随时准备被武则天“召问”。
之后，在完成以上的操作后，知匦使就会整理出来的文书呈送给武则天，其审阅后，“事或要者，当时处分”，而其他一些让武则天认为不是很急的事情，则会让知匦使将其转送给中书省及理匦使，让他们共同提出处理意见，而后再交还给武则天，由其决定是否实施。
由上可知，武则天所置的“匦使院”，其主要目的就是为了监察地方，利用群众的力量来让武则天达成“周知人间事”的目的，从而来有效的监督地方州郡长官。试想，地方那些官员能够收买前往监察的御史们，但是绝对收买不了那些百姓，因为御史们是在明，而百姓却在暗，他们谁也不会知道到底哪位百姓会去京师向武则天揭发他们的罪行。
当然，他们也有一个办法能去收买治下的所有的百姓，那就是让他们安居乐业，只有这样百姓才不会去揭发他什么，而若是能让百姓安居乐业，他们还怕什么监察呢？
当然，武则天主政期间，因其是女子当政，且也是行“谋逆”之举才能主宰天下，所以为了对付那些反对自己的“逆贼”，及那些仍旧忠于李唐的臣子，武则天时期的监察制度却是有些残酷，及有失公允的。
诚然，对于那些不反对自己掌权的官员，武则天却是能做到“赏其当赏，罚所当罚”的，但是对于那些反对自己掌权的官员，武则天却是做不到赏罚分明的，更甚者她还利用其制定的监察制度来去主动的陷害那些李唐宗室与忠臣，从而可以让自己独掌朝政，去行那改朝换代之事。
对于武则天如何利用监察制度来行陷害李唐忠臣与宗室一事的，影响让人最深刻的，也是世人最为熟知的，无疑就是重用酷吏，奖励告密。首先，自光宅元年（684年）挫败徐敬业的叛变之后，武则天就开始有意识的去清除那些“反武势力”，而为了能够名正言顺的除掉这些反武官员，武则天遂开始重用来俊臣、周兴、索元礼、万国俊等酷吏。
在当时，这些酷吏为了得到武则天的重视，从而赢得升官发财的机会，他们是时时刻刻盯着朝中反对武则天的官员，一旦他们出现一丝的过错，他们就会疯狂的扑上去，对他们露出凶狠的獠牙，让他们陷入万劫不复之地。而为了让这些反武官员能够自己认罪，让他们的罪名变得名正言顺，这些酷吏还设计出了“定百脉”、“求即死”、“死猪愁”等刑具和“驴驹拔橛”、“凤凰晒翅”、“猕猴钻火”、“方梁压髁”等骇人听闻的酷刑来折磨那些被诬陷入狱的官员。
“噬绅缨若狗豚然，至叛脔臭达道路，冤血流离刀锯，忠鲠贵强之臣，朝不保昏”，这就是武则天时期的酷吏。为了升官发财，他们是大肆制造冤假错案，诛杀反对武则天的王公大臣，在他们的“努力”下，武则天是“先诛唐宗室贵戚数百人，次及大臣数百家，其刺史、郎将以下，不可胜数”，在这些酷吏的操作下，武则天得以是名正言顺的诛杀了许多对自己有异心的前唐旧臣和宗室。如此，随着这些反武官员的大量被诛杀，武则天改朝换代之事也就变得容易了许多。
当然，因这些酷吏多数只能是监察中央官员，对于地方官员，他们多有点应接不暇，但是对于地方，武则天的显然是不可能在每个州县都放置一个酷吏，毕竟武周天下是很大的，州县可是有数千个，因此这绝对是不可能的。但是，此时地方上反武势力显然要比中央来得多，且更加的危险，一旦地方上的反武势力聚拢起来，行兵变之事，那可就有武则天头痛。
因此，为了监察地方的反武势力，同时名正言顺的诛杀他们，武则天是大兴告密之风。而为了鼓励地方臣民都踊跃的向朝廷告密，武则天是下诏“有告密者，臣下不得问，皆给驿马，供五品食”，就是一旦有人要来京告密，其所属官府不但要提供马匹，且其所经过的州县也要每日供给原五品官员才能享用的伙食待遇，而据《唐·六典》载：五品官员“每日细米二升，面二升三合，酒一升半，羊肉三分，瓜两颗，盐、豉、葱、姜、葵、韭之属各有差”。
同时，为了让告密者可以后顾无忧，武则天还下诏其告密者不但可以得到武则天的亲自接见，且无论其所告密之事是真是假，是“所言或称旨，则不次除官，无实者不问”，是真的就给其高官厚禄，若是假的，也丝毫不问罪。
试想，在那个还是“是岁，天下大饥，山东、关内尤甚”的大灾荒年，只要上京告密，不但不论真假，还能顿顿有酒有肉吃，你说这天下百姓岂能不热衷于告密呢？由此是“四方告密者蜂起，人皆重足屏息”，全国刮起了一道狂热的告密风。而就在这般告密风气盛行的情况下，各地州县官员，不论是反武还是忠武，都是“人人自危，相见莫敢交言，道路以目”。
由此，借助着这项政策，武则天可以说是不用出宫门，她就能掌握天下几乎所有的事情，不但是能知道哪位官员对她有异心，还能知道哪位官员坏，哪位官员贪，哪位官员无能，总之她都是一清二楚。而借助着这等掌控，武则天可谓是彻底的控制住了天下的所有文武官员。
当然，总得说，无论武则天时期其所实施的监察制度是否是为其的统治而服务的，不可否认的是武则天所实施的种种监察制度，其对于官员的监察，无论是京官，还是地方官，对他们的监察力度都要远远强于唐初的各个时期，哪怕是贞观时期，武则天时期也都是要强上许多，尤其是对于地方官员的监察，其更是强上数倍。
由此，正是基于武则天对于监察的重视，才出现了如司马光在《资治通鉴》一书中所说的“太后虽滥以禄位收天下人心，然不称职者，寻亦黜之，或加刑诛。挟刑赏之柄以驾御天下，政由己出，明察善断，故当时英贤亦竞为之用”这样的吏治清明，天下英才尽归其用的壮举。
