灭族一法是于始皇帝时期形成，起初只有夷三族之说，后来才逐渐形成五族、九族，甚至在明朝永乐时期，方孝孺被灭了十族。但要说灭九族的执行标准如何，或是法律界定如何，并无全面的记载，且在历史上争论较大。只是到了明清时期，才从律法中确定九族的指向。
灭族的主要目的是斩草除根，使受刑者无法拥有复仇的能力。秦始皇颁布这个法律的依据是少康中兴，这个事情发生在夏朝，少康的父亲是夏朝第五代君主姒相，后来被敌对的寒浞派人杀死。当时少康为遗腹子，正是这个遗腹子后来完成了复仇，他经过周密的策划，通过离间、行刺等手段，以弱胜强，最终战胜寒浞父子，中兴了夏朝。再如伍子胥伐楚，就是楚国在杀他父亲伍奢时，没有斩草除根的恶果。所以秦始皇认为“有田一成，有众一旅”，就会颠覆一个王朝，这才使用了夷三族的手段。
“文公二十年，初有夷三族之罪。”——《史记·秦本纪》
而根据《史记》的记载，夷三族早在秦文公时期就被制订出来，照此说法，夷三族要追溯至公元前730年左右。三国时期的魏国人如淳为《秦本纪》之做注时，称夷三族是指父族、母族和妻族；元人张晏做注时则称三族为父、兄弟和妻子；《仪礼·士婚礼》注说：“三族限于同宗之久昆弟、己见弟及子昆弟。”汉朝也沿用了秦制，夷三族被完全继承下来。秦汉时期被夷三族的知名人物有李斯、彭越、韩信。关于李斯被处夷三族的记载，点到了其父族、母族和妻族，所以夷三族最有可能是指这三族。
“悲夫！夫古有三族，而王温舒罪至同时而五族乎！”——《汉书·酷吏传百·王温舒》
汉后期，为了提高法律的震慑力，逐渐出现了诛五族的刑罚。但这并非真正的“族”，而是指王温舒本人，及两个弟弟和两个妻子，共五家人。而在传统的理解上，通常将五服看做是五族的标准，即斩衰、齐衰、大功、小功、缌麻这五种丧葬服确立的亲疏关系。
再经过演变，五族又扩大至九族。传统意义上的九族为父宗九族，即上至高祖，下至玄孙的九代直系亲属，这也是传统宗法伦理的基础。然而有一些说法以夷三族为基础，认为诛九族是以夷三族为依据，扩充为父三族、母三族和妻三族；或者是父四族、母三族和妻两族。这是封建社会，能够基于血缘关系实现对社会最大控制的关系架构，较符合法律的现实意义。
灭族是在唐宋以后才有了明确的法律依据，至明清时期由律法形成统一标准，像是秦朝虽有夷三族之说，但如荆轲刺秦王后，是被灭了七族，至于七族的标准如何，无人知晓。
其实古代统治者随着文明程度的提高，愈发的慎杀，因为没有哪个皇帝是不愿意留下仁君形象的。所以影视剧中动不动就灭族的现象并没有那么多。比如胡惟庸案，株连出来的人数确实很多，但并不是对胡惟庸判了灭族的罪，随后牵连出来的李善长，其妻、女、弟、侄等七十余人被杀，这个可以算是灭族，但这与灭九族还是不太一致，其儿子、孙子也都未受到杀害。
“丁丑，杀齐泰、黄子澄、方孝孺，并夷其族。”——《明史》
关于灭族，可能最出名的是方孝孺被朱棣灭了十族，九族之外加上他的学生算作一族。其实在《明史》中只是提到了方孝孺等人是被夷族了，但是根据《大明律》的规定，只诛灭了方孝孺的父族。《立斋闲录》也记载了方孝孺涉及的诛杀名单，这些人皆出自方孝孺父系，没有有母系和妻系。
在永乐时期，还有一个名叫景清的，刺杀朱棣没能成功，之后又表现的宁死不屈，朱棣就下令将其“磔死，族之”，然后又下令“籍其乡，转相攀染，谓之瓜蔓抄，村里为墟”。这句话被认为是杀光了景清的同乡，其实这个理解并不正确，正确的理解应该是收没了其同乡的财产。
但历史上明确记载被诛九族的是杨玄感，他在隋炀帝征高句丽时，于后院捣乱造反，失败后害怕受到酷刑残害，于是让弟弟手刃了自己。但隋炀帝并没有放过他，不仅对其挫骨扬灰，还判了个诛九族。
其实纵观明清的株连案，灭族往往都是方孝孺一样，只涉及男丁，不牵连女人。女人往往会被没官为奴，或者送入军中和教坊司，在不就是强行婚配给平民百姓。而且斩草除根也并不多见，男子不成丁的，即未成年的，则也会豁免死罪，如明朝的郑和，家族造反被灭，他因年龄太小，被阉割后送入燕王府为奴。
再如雍正年间，吕留良因“反清复明”的文章被告发，而获灭族之罪。吕留良家族16岁以上男子皆被处斩，15岁以下的男子约60人，被处披甲为奴，永为奴籍。由于吕留良是位学者，所以这个案件牵扯到他的学生，如孙用克，周敬等皆受坐，要说“诛十族”，吕留良算是一个。
综上，古代灭族是存在的，而在明清之前并无确切的法律标准，在判定灭族时随意性较大。到了明清时期，有了标准和依据，即父宗九族的成年男子，且因统治者的慎杀态度，所以并没有那么多灭族的案例。一般都是谋逆之类的大罪才会有灭族判罚，但有实力谋逆的也都是皇亲国戚和功勋大臣，多少都有皇家血脉或者姻亲，统治者会酌情考虑牵连对象，避开司法程序，给予自裁的宽松，如年羹尧与和珅。
