深圳市工业和信息化局近日印发《深圳市关于推动智能传感器产业加快发展的若干措施》。若干措施提出，推动MEMS中试线等公共服务平台对大中小企业提供阶梯式服务价格，以具有市场竞争力的折扣价格优先为符合条件的本地智能传感器中小企业提供服务，支持专业园区为入园的中小企业提供配套成体系专业化公共服务。同步引导企业利用本地MEMS中试线等公共服务平台开展新产品开发，对企业在本地平台产生的一次性工程费按照最高30%、不超过100万的标准予以补助。
鼓励有关单位承担工业和信息化部等部委开展的智能传感器领域重大项目。根据国拨资金拨付情况给予不超过1:1的资金配套，国拨资金和市级配套资金总额不超过项目总投资的二分之一。
对相关企业或机构开展智能传感器及EDA设计仿真工具、核心材料、先进工艺、关键设备等技术研发和产品攻关，达到国际和国内先进水平，填补国内核心技术空白，且未获得国家资金的重点项目，根据企业自筹资金投入情况，可分阶段给予不超过总投资30%的资助，资助总额最高1亿元。
